[ 產品資訊 ] 高精度(1μm)線性平移台 Linear Motor Stage
2019 年 12 月 19 日
產品資訊
特點
- 高重複性80nm和精度1μm，最小增量移動25 nm
- 1 nm解析度並有線性編碼器
- 速度最快可達1.2M/秒，加速度高達3.5g
- 60,110,210 mm三種行程選擇
- 內置控制器; 並可與其他Zaber平台多軸串接
- 非接觸式無鐵芯直線電機，具有超精密，高動態和零間隙
- 一個數位輸入和兩個數位輸出
- 可組合成雙軸XY
產品說明
X-LDM-AE系列為移動磁軌電動線性平台，適用於要求出色的精度，和可靠性的應用。中央安裝的線性編碼器可實現1μm的位置精度和一致的移動步長，最低可達25 nm。
X-LDM-AE採用高效無鐵芯馬達，提供高速和加速同時最大限度地減少熱量產生，從而提高可重複性。驅動器和編碼器都是非接觸式的，沒有移動電纜，因此系統壽命很長。
有限行程的需求下,移動式磁軌平移台可以提供更高的精度。因為平移台移動的部分是與電流及熱源區隔分開的，使得移動能有更好的熱穩定性及更低的電雜訊干擾.並且stationary forcer是通電後會產生熱的裝置，被固定在當作散熱器的系統底部，這也使得整個系統擁有更好的熱穩定性。
X-LDM-AE僅需要標準的48 V電源。它們可連接到電腦的RS-232接口或USB接口，並且可以與任何其他Zaber產品進行多軸連接。並共享電源，使多個X系列產品可以共享一個電源。
與Zaber的所有產品一樣，X-LDM-AE系列設計為“即插即用”，易於設置和操作。X-LDM-AE設備還包括一個數位輸入和兩個數位輸出，用於連接外部系統。
X-LDM-AE方便使用於各種量測和真空實驗，PL和EL實驗還有自動化設備等應用上。